干式螺杆真空泵的抽气要求

点击次数:   更新时间:17/07/24 08:02:07     来源:powerengrs.com关闭分    享:
  利用干式螺杆真空泵可以抽气,以降低压强,但是其抽气有哪些呢?我们一起看一下:
  首先,正确地组合泵。由于有选择性抽气,因而,有时选用一种干式螺杆真空泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。
  另外,有的干式螺杆真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的干式螺杆真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
  综上所述,需要几种干式螺杆真空泵组合起来,可以提高抽气效率。